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    七星華創質量流量計

    • 更新時間:  2020-12-11
    • 產品型號:  CS200A
    • 簡單描述
    • 七星華創質量流量計CS200H氣體質量流量控制是七星流量計生產的數字型高溫產品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現在高溫環境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。
    詳細介紹
    品牌七星華創價格區間5千-1萬
    產品種類節流式介質分類氣體
    產地類別國產應用領域醫療衛生,環保,化工,生物產業,能源

    CS200H氣體質量流量控制是七星流量計生產的數字型高溫產品,其電氣和機械部分采用分體式的設計,通過高溫線纜連接,可以實現在高溫環境下工作,能夠滿足復雜多變的半導體測量需求。

     七星華創質量流量計優勢
    • 控制器工作溫度:90~120℃。
    • 高控制精度:產品精度可達±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
    • 快速響應,響應時間≤ 0.8sec。
    • 采用恒功率傳感器原理,在溫度變化時進行相應的補償,從根本上抑制了流量計的零漂現象,保證了傳感器線性。
    • g端產品采用專門的金屬表面處理技術,與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200產品金屬表面粗糙度更可達10RA以下,嚴格按照SEMI標準生產制造。
    • 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數字,模擬輸入輸出。
    • 產品尺寸符合通用的SEMI標準,RS485,DeviceNet通訊方式。

    七星華創質量流量計CS200 H
    型號 CS200-H 
    閥類型 常閉 無 
    流量規格(N2) (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM 
    準確度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
    ±0.35% F.S.(<35% F.S.) 
    線性 ±0.5% F.S. 
    重復精度 ±0.2% F.S. 
    響應時間 ≤ 1sec 
    工作壓差范圍 0.05~0.35MPa 流量規格≤10SLM
    0.1~0.35MPa 流量規格>10SLM <0.02 MPa 
    下限大工作壓力 0.45MPa 
    溫度系數 零點: ≤±0.1% F.S./℃;調節時: ≤±0.1% F.S./℃ 
    耐壓強度 3MPa 
    漏率 1×10-11 Pa·m3 / sec He 
    密封材料 金屬密封 
    工作環境溫度 質量流量控制器/流量計:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃ 
    輸入信號 數字: RS485 或 DeviceNet
    模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA 無 
    輸出信號 數字:RS485或 DeviceNet  
    模擬:(0~5)VDC或(4~20)mA 
    零漂 在沒有零點校正時<0.6%F.S./年 
    電源 ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) 
    表面化學成分 Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃) 
    表面粗糙度 10 Ra 
    標準接頭形式 雙卡套φ6;雙卡套1/4;VCR1/4陽接頭;1.5´´C型密封接頭
    1.5´´ W型密封接頭 
    電源接頭形式 D型9針陽接頭;D型15針陽接頭;DeviceNet接頭 
    連接高溫電纜 2m 
    重量 1.2Kg 1Kg 

     


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