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          七星華創DS系列質量流量控制器 DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

          時間:2020-10-22型號:DS300
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